---- Microsensor公司(位于美国加州的Costa Mesa)开发的硅微环陀螺仪 ( Silicon MicroRing Gyro ),是一种采用微机电技术制造的角速度陀螺仪。此陀螺仪是为了满足对体积小、价格便宜惯性传感器的需求而开发的,因此采用比较简单的工艺技术。
---- 此陀螺仪的一项应用,是给手持电话、PDA以及车辆增加惯性追踪的能力,以便为校准其中的GPS导航仪误差,提供基准的运动数据。其它方面的应用还有:车辆的安全系统、报警装置和安全设施。这些应用范围既要求对运动感测准确,又要求具有一般人愿意接受的消费品价格水平,以便能迅速开拓市场。
---- 只要陀螺仪的输入轴一旋转,陀螺仪就在一个振荡元件中感知产生的科里奥利力。力的大小和旋转的角速度成正比。

图:Silicon MicroRing Gyro陀螺仪大小只有2.4mm2,
测量旋转角速度的精度可达每秒速度。
---- 陀螺仪采用简化了的设计,在制造过程中只用五套掩模版,降低了制造成本。由于采用的掩模版数量较少,也减少了由于工艺中的偏差累积产生的影响。此陀螺仪在设计上将信号产生元件和信号读出部分分隔开来,减少了内部的相互干扰,使设计得以简化。
---- 此器件的工作电压为4.25到5.25V。感测的旋转角速度范围为±60°/s。灵敏度为26mV/°/s。带宽为7Hz。可抗1,500 g 的震动。可在-40°到+85°的环境温度范围内工作。
---- 此陀螺仪和该公司的通用容抗读出芯片( Universal Capacitive Readout Chip )配套使用。芯片是一个面积为5mm2 的ASIC,是专门为读出和控制MEMS器件设计的。(参看《今日电子》今年第3期P.34。此Silicon MicroRing Gyro陀螺仪今年年底可供货,当批量生产时目标价格定位在每只低于20美元。如欲了解更多情况,请和Carl Gellis先生联系。电话为:001-714-444-8770;e-mail为:cgellis@microsensors.com ;或请访问网址:http://www.microsensors.com。
