据Semiconductor Reporter网站报道,Veeco公司3月27日宣布其已推出两款新型扫描探针显微镜（SPM）,第五代MultiMode V SPM和Dimension V SPM。这两款产品中都安装了Veeco的称为Nanoscope V的新一代控制器,使其用户能够更快地获得分子级行为,从图像中获取更多的信息。这两款产品将广泛应用于工业和研究机构。

MultiMode V号称世界上分辨率最高的SPM。它将用于分析微小样品如电化学材料。而Dimension V则用于分析稍大一些的样品,如半导体晶圆,数据存储薄膜以及电学表征等。据Veeco表示,这两款产品无论是性能还是使用的简易性上都远超上一代产品。

尤其值得一提的是被称为Easy-AFM的新设计。该设计缩短了设备初始化的时间,加快了高精度测量的速度,提高了图像质量。

美国Veeco精密仪器有限公司是世界领先的精密测量仪器和工艺设备制造商。公司的主要产品有：DI扫描探针显微镜、近场光学显微镜、DEKTAK探针轮廓仪、WYKO激光干涉仪和光学轮廓仪、NEXUS离子束沉积系统、TurboDisc金属有机化学汽相沉积、VEECO分子束外延系统、SPECTOR镀膜系统、VEECO离子源等等。产品的服务领域广阔,其中代表性的应用涉及数据存储、半导体设备、光通讯和无线通讯和科学研究。

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