Caliper ; elan可用于200mm和300mm晶圆，而且与自动化物料输送和工厂自动控制系统完全兼容。它的四个载入口使水的传输系统与高产能相匹配。它提供给用户纳米尺度以下的精度和领先的设备之间的匹配能力，采用Linux 操作系统，有全新的对焦系统、光学系统、原料管理和测量算法。
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