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UV光源 |
| 发布时间:2005年3月23日 点击次数:443 |
| 来源: 作者: |
 ExciStar S和BraggStar系列UV光源产品具有领先于同类产品的小尺寸规格,其使用寿命可产生10亿次以上的激光脉冲。它具有基于CE的固态转换,并经过SEMI/ FDA/UL-CSA/CE对于最终消费产品系统集成的认证,以及来自电源供应商及安全相关器件厂商的IEC 61010第三方认证。BraggStar Industrial-LN是一款UV光源,可应用于浸入式光刻技术。它具有5mm的径向一致性,并具有2W的输出功率和1kHz的重复率。其脉冲pulse-to-pulse能量稳定性优于3%。此外,BraggStar Industrial-LN 具有非常高的空间束均匀性和光点的稳定性。TUILaser AG, www.tuilaser.com |
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