产品说明：

先进电计量系统及生产探针卡厂商Cascade Microtech日前推出可在晶圆导航与测试过程中极大提高生产率的eVue数字成像系统。eVue 数字成像系统主要面向进行工艺开发和器件定型及建模的工程师,使用该系统可轻松节省当前每天浪费在低效半导体导航与测试数据采集问题上两到三小时的时间。

与传统显微镜相比,专为利用Cascade Microtech 晶圆探测系统进行晶圆上测试而优化的eVue 可使用户更快速、更有效地对先进器件进行导航、观察及测量。其将新的晶圆探测传送工具及先进视频处理与由Cascade Microtech 合作伙伴Umech Technologies 开发的新一代数字显微镜技术进行了完美结合。

eVue 数字成像系统整合了众多比传统显微镜或摄像机更先进的光、电及软件技术。该系统的核心是具有高精度数字视频和广角／高放大率的CCD 显微镜。对于正在进行测试的器件,均具有单独高精度CCD 相机的三个分立光通道以提供该器件的一流“多视角”视图,从而极大提高了导航速度和精度。

eVue 的宽“视角”光学器件连同其高精度视频能够使工程师在导航时观看更宽的晶圆视图,以及在将小探针触点与测试垫对齐时看到探针卡针阵列的两端。

eVue 智能物镜装置存储了关键的透镜-显微镜性能信息以及物镜。当将透镜更改为不同测试配置时,eVue 会读取新的透镜数据,并会自动进行配置和优化。凭借这一功能,晶圆导航、探针定位精度及“屏幕上”测量磁带功能均会加以优化。

Cascade Microtech eVue 数字成像系统的最低单价为18,999 美元。eVue Pro Package 的最低单价为33,999 美元。在收到订单后,供货周期为8 周。详情请通过sales@cmicro.com 与Cascade Microtech 销售代表联系。