老古开发网首页
导航:老古开发网首页文章索引文章分类综合电子→[KLA-Tencor电子束晶片检测系统]
| -文章搜索 - 最新文章 - |

KLA-Tencor电子束晶片检测系统

发布时间:2005年2月16日 点击次数:397
来源:半导体国际   作者:
 
eS31电子束晶片检测系统能够探测出小于50纳米的物理瑕疵及电压差异缺陷,它使芯片制造商能够在65纳米及以下制程中,满足工程分析及生产线监控所提出的高精度检测要求。该系统具有的精密的光学系统, 快速的数据处理速度以及可设定的瑕疵归类功能,使eS31的吞吐量达到其他电子束检测工具的6倍。eS31具备KLA-Tencor公司专利所有的μLoop ("MicroLoop")技术,它独特的电压差异测试结构可以尽早提供影响良率的各种重要电性问题,而使用以往的电信探针测试获取这些信息往往需要好几周的时间。搭载μLoop 技术的eS31系统能在一小时内完成对整个晶片全面积的检测,并且它的独特设计能够加快后段制程与前段制程的处理速度。eS31系统与KLA-Tencor公司的23xx亮区检验系统共用相同的检测平台,从而降低了仪器操作培训成本并提高了使用及设置的方便性。eS31系统还具有一套自动程序来简化电子束设置及仪器校准,使工程师们能够将更多的精力投入倒实验设计及工艺改进上。KLA-Tencor,

 www.kla-tencor.com. 

欢迎进入老古论坛进行讨论
[综合电子] 相关文章:
中芯支付巨额专利费,与台积电诉讼案成和解
简介:
台积电与中芯国际1月30日宣布,两家公司对有关侵犯专利与不当使用商业机密之法律诉讼,达成协议。同时,中芯国际也发布了该公司截至2004年12月31日的季度统计,披露该公司在这一季度新增19家客户,其中12家是中国大陆的无晶圆厂半导体公司。   根据本协议,中芯国际在未来6年内将支付总数1亿7千5百万美金之专利授权之权利金给台积电(前5年每年3千万美金,第6年支付2千5百万美金)。台积电有条件性的撤回所有以下台积电与中芯国际之间的法律诉讼案件,包括在美国联邦法院的,加州州立法院的,美国国际贸易委员会的,以及在台湾地区法院的所有诉讼案件。   此协议中,双方的专利授权期限至2010年12月。台积电......

2012-2015年出现450mm晶圆厂,芯片设备研发模式须改变
05年全球晶圆设备市场先苦后甜,全年预计增长7%
TRANSDIMENSION与SMSC合作推出控制器和收发器
为DDR-SDRAM量身定制的高效电源管理芯片
采用闪存微控制器设计离线锂离子电池充电器
综观DSP新兴市场及未来走向
电源管理IC及AC/DC电源最新产品信息
PoE用电设备电源评估
采用超深亚微米CMOS的无线电源管理系统
 
下一个:[测试测量]泰克研发成功带宽12Ghz的高速实时示波器
简介:
2005年1月31日,泰克公司今天宣布推出全球速度最高,功能最为强大的实时示波器以及新的探头设备。该产品的推出将有力推动在计算,通信以及消费电子产业基于第二代串行数据标准的产品设计,其中包括第二代PCI-Express,SATAIII 以及双倍速XAUI等。泰克新推出的产品属于其TDS6000系列数字存储示波器(DSO)产品线,包括带宽12Ghz的TDS6124C示波器以及带宽达到创记录的15Ghz的TDS6154C示波器,同时一起推出的产品还包括P7313Z-Active?低负载探头。这些新产品将为客户提供不折不扣的业界最优性能,从而满足产品应用开发工作中最为苛刻的要求。   为与全球高速技......
 

上一个:[新闻热点]普元软件荣膺2004年度最有价值软件产品等两项大奖

老古开发网版权所有 2006年9月 asp.Net V2.0 设计:老古
页面缓存:10分钟 执行时间:16毫秒