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MKS 超便携式氦泄露探测仪 |
| 发布时间:2005年2月16日 点击次数:333 |
| 来源:半导体国际 作者: |
轻便灵巧的PICO?泄露探测仪使得操作人员可以不用庞大的卡车或升降机就把它运抵工艺设备所在地。真空型探测仪体积小到可以安装在紧凑的工作位置而不需要长的采样线,并且还包括一个耐用的远程移动式触摸屏显示器。所有的PICO?单元都有集成的真空系统,整个系统只有7英寸(178mm)宽,15英寸(381mm)长,10英寸(254mm)高。如此小的尺寸得益于涡轮涡卷泵真空系统和离子阱质谱仪的小型化。该产品曾获得Semiconductor International杂志评选的最佳产品奖。MKS Instruments, Inc.,www.mksinst.com . Booth #5642 |
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