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掩模版储存柜 |
| 发布时间:2005年3月1日 点击次数:316 |
| 来源:半导体国际 作者: |
掩模储存柜可以根据晶圆厂曝光设备对掩模操作要求,调整掩膜版掩模版储存柜的设计和重新配置。传统的密集盒式储存柜的掩模储存方法既没有灵活性又没有优异的性价比。而采用模块化设计方法的Guardian储存柜可以被迅速地重新配置,因而适应搬运设备和掩模类型的变化。Brooks Automation,www.brooks.com . |
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