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扫描型光刻机

发布时间:2005年3月1日 点击次数:329
来源:半导体国际   作者:
 
NSR-S308F"扫描型光刻机是高速度工作平台,适用于300mm晶圆,生产效率达到业内最高水准的140片/小时,并配备有世界最高等级的超高NA(0.92)投影镜头的ArF Excimer Laser。为实现客户易操作和易采购的供货目标,Nikon还同时开发了采用与S308F同种机型,配备有超高NA(0.82)投影镜头的KrF Excimer Laser"NSR-S208D"扫描型光刻机等"宽曝光范围步进型光刻机系列"。 Nikon, www.nikon.com
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