Micronic Laser Systems AB公司日前表示，该公司与荷兰ASML Netherlands公司最近签署了一项授权协议，授予ASML以Micronic在空间光调制器和数据通道技术领域的专利产品组合为基础，面向半导体应用推广光学掩膜蚀刻的权利。
　　Micronic将靠出售基于该公司专利的掩膜蚀刻系统收取版权费用，并且被批准免费使用ASML针对光掩膜应用的SLM技术开发成果。作为交易的一部分，Micronic将收取一部分未来版税的预付款，合计2,000万欧元(约为2,700万美元)。