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第13107篇:TFT可采用液态硅旋转涂布工艺生产 |
| 发布时间:2006年8月9日 点击次数:551 |
| 来源: 作者: |
精工爱普生公司（Seiko Epson）与JSR公司共同开发了一种采用液态涂布和喷墨成形工艺的硅薄膜。这种硅薄膜是一种低温多晶硅TFT（薄膜晶体管）,其性能可与采用传统CVD（化学气相沉积）方法生产的薄膜相媲美。这种新型材料是一种氢和硅的高级硅烷混合物,它可以被有机溶剂溶解。
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