中芯国际已经订购了90纳米工艺的生产工具,定于今年第四季度交付。该公司计划到2005年第一季度步入90纳米工艺试生产。中芯国际采用ASML Holding NV和Canon的光刻扫描器(lithography scanners)。
据称,TI还携手SMIC开发130纳米工艺技术。大多数研究工作涉及芯片的后端金属化部分。换句话说,TI负责前端工作,将晶圆交付给SMIC,由后者负责金属化工作。
业内分析人士指出,双方这项交易昭示着后冷战时代的瓦圣那协议(Wassenaar Arrangement)进一步走向分崩离析。根据瓦圣那协议,美国、英国等33个国家不可向共产主义国家、中东及第三世界国家扩散有潜在军事用途的技术。
今年年初,美国政府还是宣布支持一项提案,即出口到中国大陆的美国制造的自动测试设备,将自2005年开始放松出口限制。
