Klarity SSA是KLA-Tencor公司新推出的缺陷空间分布信号分析软件，它可以对缺陷空间分布信息进行自动分类和原因分析，大大加强了该公司缺陷管理系统的功能。缺陷空间分布信息是指由相关缺陷形成的特殊分布图形，它通常与工艺或设备的异常情况相关。将晶片检查设备生成的缺陷分布图形等数据输入该软件后，它就会对这些信息进行自动识别和分类。该软件可用于加强异常情况检查的各种场合，包括工艺和设备的监控以及工程分析等。
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