据Semiconductor Reporter网站报道，Fujitsu Ltd.与Advantest Corp.近期联合宣布，计划建立一个联合企业，进行半导体电子束直写光刻设备样机研究。合作的最终细节仍在讨论，但两家公司预期于11月成了该合资企业。

该企业将结合Fujitsu先进电子束曝光系统的半导体制程技术，由Advantest进行研发和生产，适用于65-45nm制程的原型样机。

预期在明年4月份开始的下一个财政年度，该企业将开始提供65nm样机，在晚些时候将进入45nm技术时代。

新公司由Fujitsu和Advantest持股的比重分别为55%和45%。

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http://www.semireporter.com/public/14524.cfm