据Semiconductor Reporter网站报道，夏普公司近日宣布即将建立处理富含氮污水的净化工厂，该净化工厂将结合夏普微生物处理技术与超微纳米气泡技术来服务于其在福山和广岛地区的半导体工厂。此净化系统将会在不稀释的条件下出去污水中90%以上的氮元素。该计划今年7月份开始运作.

日本严格限制含氮物质的堆积，以及富含氮元素污水的排放。而半导体工业中采取的CMP工艺清洗过程中含有氨水，其中含有大量氮元素。

以前采用的方法是通过升温来汽化含氮污水、通过催化剂降低污水中的氮含量或者对污水进行浓缩作为工业污水处理，这些方法的能耗和费用都是相当高的。而通常的微生物方法需要10倍的稀释污水，这将增大对水资源的需求量也增加了污水处理的负担。

夏普公司将采用超微纳米气泡技术并和现有的微生物净化系统相结合来对含氮污水进行有效处理。夏普将投资4.4亿日元今年7月建成一个日处理量达170立方米含氮污水的处理系统。

相关链接（英文）：http://www.semireporter.com/public/13277.cfm