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8.CMP耗材市场总额达11亿美金并持续增长
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20.Entrepix推出系列CMP服务并大幅提高产能
21.美国国际贸易委员会禁止进口Cheil Industries公司CMP浆料
22.紫外线加速氧化硅生长技术被研发成功
23.Cabot Microelectronics购买IBM公司CMP浆料专利
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