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50026. 【供应】 扩散炉TK1800
信息发布时间:(2007年4月17日11:06:45 ) 发布者IP地址: 61.149.10.26

信息详细内容:

【商品名称】:扩散炉TK1800
【商品规格】:TK1800
【商品简介】:
扩散炉专门设计用于半导体材料扩散、氧化工艺;同时也用于太阳能电池行业的氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅等多种渡膜(LPCVD)工艺。 窑炉采用FEC陶瓷纤维管保温、KANTHEL炉丝,优质气炼石英管作为炉膛, 可预抽真空并可通入参与反应沉积的气体。
   温度控制系统选用日本进口单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构,恒温区温度均匀。进口或国产气氛控制系统,质量流量计控制。设备具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点,是理想企业的研制、生产设备。

【备  注】:
主要技术参数见下表:
项目
参数

炉膛尺寸
ф180(外径)×2200 mm

加热区长
700 mm

温区点数
3 点/单管

工作温度
RT~ 1200℃ (最高炉温 1250℃ )

控制精度
±1 ℃

报警保护
超温、欠温、断偶、等报警保护

升温功率
12 KW/单管

重量
550 Kg

注:用户有何特殊要求可协商。

姓名: 赵翔  
公司: 北京仝志伟业科技有限公司
地址: 北京市朝阳区首都国际机场辅路中段南侧蟹岛路8号
邮编: 100008
QQ: .
电话: 010-51669522/33
手机: .
传真: 010-51669522-816
邮箱: sales@torch.cc
网址:
 
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