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50026.
【供应】
扩散炉TK1800
信息发布时间:
(2007年4月17日11:06:45 )
发布者IP地址
:
61.149.10.26
信息详细内容:
【商品名称】:扩散炉TK1800
【商品规格】:TK1800
【商品简介】:
扩散炉专门设计用于半导体材料扩散、氧化工艺;同时也用于太阳能电池行业的氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅等多种渡膜(LPCVD)工艺。 窑炉采用FEC陶瓷纤维管保温、KANTHEL炉丝,优质气炼石英管作为炉膛, 可预抽真空并可通入参与反应沉积的气体。
温度控制系统选用日本进口单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构,恒温区温度均匀。进口或国产气氛控制系统,质量流量计控制。设备具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点,是理想企业的研制、生产设备。
【备 注】:
主要技术参数见下表:
项目
参数
炉膛尺寸
ф180(外径)×2200 mm
加热区长
700 mm
温区点数
3 点/单管
工作温度
RT~ 1200℃ (最高炉温 1250℃ )
控制精度
±1 ℃
报警保护
超温、欠温、断偶、等报警保护
升温功率
12 KW/单管
重量
550 Kg
注:用户有何特殊要求可协商。
姓名:
赵翔
公司:
北京仝志伟业科技有限公司
地址:
北京市朝阳区首都国际机场辅路中段南侧蟹岛路8号
邮编:
100008
QQ:
.
电话:
010-51669522/33
手机:
.
传真:
010-51669522-816
邮箱:
sales@torch.cc
网址:
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