[原创]纳米压印工艺热压主要步骤如下:
1)聚合物被加热到它的玻璃化温度以上 这样可减少在模压过程中聚合物粘性,增加流动性。只有当温度到达其玻璃化温度以上,聚合物中大分子链段运动才能充分开展,使其相应处于高弹态,在一定压力下,就能迅速发生形变。但温度太高也没必要,因为这样会增加模压周期,而对模压结构却没有明显改善,甚至会使聚合物弯曲而导致模具受损;
2)施加压力 聚合物被图案化的模具所压。在模具和聚合物间加大的压力可以填充模具中的空腔。压力不能太小,否则,不能完全填充腔体;
3) 模压过程结束后,整个叠层被冷却到聚合物玻璃化温度以下,以使图案固化,提供足够大的机械强度;
4)脱模。
