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 *第19218篇: 射频电源 Comdel 中国办事处 销售维修

  
楼 主:tigerwang 2009年1月2日23:32
 射频电源 Comdel 中国办事处 销售维修
美国Comdel在北京设有分公司: comdel中国/北京研拓科技有限公司,负责销售\维修\技术支持等服务. 公司拥有多名经验丰富的工程师,对镀膜过程中的等离子体放电问题有丰富经验。 
由comdel中国公司研发的国产自动匹配网络 为企业配置射频方案提供性价比更高的选择。 
  电话:010-58711816  李树瑜
  james_li@comdel.com  lishu_yu@163.com
美国Comdel 公司,专业设计生产各种射频,中频和直流电源. 其产品广泛于太阳能、半导体和工业镀膜等领域. 其主要产品有: 单频射频电源,双频射频电源,直流电源 ,ESC 静电卡盘电源,自动调谐匹配网络. 为世界知名的主要半导体设备制造厂商供货. 

作为射频驱动等离子体系统的电源。该系统可应用于半导体工业。应用对象包括:刻蚀、RIE、平板镀膜、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统,也可作为工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源。

  
2楼:tigerwang 2009年6月18日22:52
 国产自动射频电源匹配器
由北京研拓科技(www.antorr.com)研制成功的 国产射频自动匹配器。通用网址:射频电源。填补国内空白,可直接替代国外产品。节约射频系统成本。
功率:2KW  频率:13.56M 
系统采用高速的匹配算法,使系统在接近匹配点时减速,即使是高Q值的系统也能达到精确的匹配效果。可替代进口匹配器。与国产电源配合使用,匹配良好。
匹配器标准配置采用可调的L型匹配网络,满足绝大部分负载要求。根据客户不同的负载要求可以单独设计匹配网络。
由于国内电源无法指示功率的特点,内置的数字功率计可显示入射功率、反射功率 ,指示精度 3% 。可以有效弥补国内电源功率指示不准问题。
技术指标:
1. 电压输入:    AC160V ~ 260V 
2. 射频功率范围: 10W-600W, 20W—2KW,50W-5KW 三个系列
3. 射频输入接头: N型
4. 射频输出接头: L7/16 

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