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CX系列高频电源

其稳定性在全球等离子真空系统方面已被证实

性能表现

   CX系列电源可以获得5000到10000W的功率范围，确定的频率范围为2到30MHZ，频率捷变性能达到10％频宽。固态器件的设计降低了追求高稳定性的使用者的成本。

应用领域

  CX系列电源为了满足在半导体工艺反面的高频驱动等离子系统的性能要求而设计的。应用领域包括：刻蚀、RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD和PVD，同时也应用在感应和介质加热的工业领域。

CX大功率电源

   CX系列电源提供5000到10000W大功率电源

性能

（1）S－专利技术确保了超稳定的输出，此稳定技术使功率放大性能得以优化并降低了由等离子阻抗波动造成的功率增益变化

（2） 获得ETL产品安全标志，并符合SEMI F47

（3）通过编码器和软键输入实现Local控制

（4）标准R232接口和A/D控制

（5） 在全控制和可编程微处理器作用下，可激活前面的控制面板

（6） 控制电路确保了在高VSWR条件下的连贯性

可选性

（1） 可选用的输入AC线电压的范围宽

（2） 外频控制

（3） 主/从操作

（4）设备网络

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深圳市利方达科技有限公司 李波涛先生   mobile:13570829883 LIBOTAO33@163.COM
希望与大家共同探讨射频电源的发展和应用

发表时间:2007年2月13日12:43:04