Software Products Introduction软件产品简介

SCI为薄膜设计,材料分析,椭圆偏光法,分光光度测定法提供不同的工具.最近的光学薄膜软件包括:
一.FilmWizard(OpticalThinFilmSoftware光学薄膜软件)
FilmWizardTM专业版是最强大的,多功能的,用户友好界面的软件包,不断地提供给薄膜工程师和科学家使用.FilmWizardTM结合最优化和综合设计能力,是强有力的工具,可用于分析光谱和椭圆偏光数据,建模薄膜层,测定真实厚度和多层薄膜结构的回归曲线.
FilmWizardTM支撑几种商用分光光度计和偏振光椭圆率测量仪的目标指示数据的直接输入.如果FilmWizardTM现在不能用户的特殊的分光光度计或偏振光椭圆率测量仪,SCI愿意免费为用户定制FilmWizardTM用以输入用户的ASCII.数据文件.如果用户使用FilmWizardTM嵌入式宏语言时有其他特殊要求,SCI愿意为用户定制.
二.FilmMonitor?(MonitorDepositionSoftware监视沉积软件)
FilmMonitorTM是一种光沉积监控软件工具,用于多层薄膜设计转化为光监控管理表.FilmMonitorTM支撑多波长,多芯片,厚度和系数加工因子.
三.FilmEllipse椭偏数据生产线工艺软件包
FilmEllipseTM是一种易用的用于分析和捕获椭圆偏光数据的生产线上工艺型可定向软件包.FilmEllipseTM允许用户不仅作为偏振光椭圆率测量仪(椭偏仪)附带的软件功能,而且可以得到宽范围应用的解决方案.

一. FilmWizard(OpticalThinFilmSoftware光学薄膜软件)
Design设计|Materials材料|Analysis分析|Optimization优化|Synthesis综合|Results计算结果|Macro宏

FilmWizardTM专业版是最强大的,多功能的,用户友好界面的软件包,不断地提供给薄膜工程师和科学家使用.FilmWizardTM结合最优化和综合设计能力,是强有力的工具,可用于分析光谱和椭圆偏光数据,建模薄膜层,测定真实厚度和多层薄膜结构的回归曲线.

合并五种新光学薄膜综合方法,包括针综合.
提供七种最优化算法,三种是全局优化.

当用户为任何一个需要最优化的变量输入最大和最小范围时,提供强制最优化选项
计算和最优化透射,反射系数,吸收比,透射相位,反射相位,椭圆偏光参数等.

合并几种独特的材料/层模型给予薄膜设计工程师有力的灵活的确定材料特性.

2D,轮廓,3D图形

合并VisualBasic语言..

二.FilmMonitor?(MonitorDepositionSoftware监视沉积软件)
FilmMonitorTM是将多层薄膜设计转变为光学监视管理表的薄膜软件工具.为光学涂层技术员/操作员很快创立容易理解的光学监视管理表.从FilmWizardTM设计输入或直接输入FilmMonitorTM.一个设计中可监视上到100个芯片.芯片材料和入射角可个别指定.
FilmMonitorTM支持监视:透射,反射系数,椭圆偏光,参数(tan(y),cos(D),y,D)
FilmMonitorTM支持绝对或相对单位输出.相对模式,每层起始增益和偏移可调整.

三.FilmEllipseTM椭偏数据生产线工艺软件包
FilmEllipseTM是分析和捕获椭圆偏光数据的生产线上工艺型易用的软件包.FilmEllipseTM可使用户得到宽范围的应用解决方案.同时解决复指数(n+ik)和多层薄膜结构厚度.允许用户输入,多波长和多入射角时,收集的椭圆偏光和分光光度数据工作模式:工程模式或制造模式.制造模式要求很少的或毫无个人计算机\薄膜光学经验给予独特的一致的层厚度解决方案.大多数商业软件可利用三个椭偏测量波长,并独立地处理每个波长,结果导致三个不同的厚度分析(一对一的波长).FilmEllipseTM使用情况是物理上仅有一个厚度值,并计算三个波长一致性的单一厚度.全局解决方案/最优化方法用于获得最好的解决方案,因此避免局部最小风险,极小化测量误差.任一厚度或折射指数最大和最小范围
FilmEllipseTM灵活地输入和存储用户定义域自动保存,自动成组实验数据,仪器参数设置,层结构,注释后期分析的用户定义数据库.

SCI FilmTek TM Systems(薄膜测量仪器测试功能说明)可测量:\+_Nq~
Index of Refraction折射指数(at 2μm thickness) Thickness Measurement Range 厚度测量范围,K^qMaximum Spectral Range 最大光谱范围##b
Standard Spectral Range标准光谱范围F
Reflection反射测量,
Transmission透射测量5wIBSOptional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量cY
Power Spectral Density功率谱密度测量a
Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度测量Y
Both TE & TM Components of Index Multi-layer thickness多层厚度测量gS|p]
Index of Refraction折射系数测量~c=]o%
Extinction (absorption) Coefficient消光(吸收)系数:{P]F
Energy band gap能量带隙测量U4r[n
Composition成分测量c*'nh)
Crystallinity晶状测量DTE;
Inhomogeneous Layers非均匀层测量}KF 
Surface Roughness表面粗糙度测量L"
A variety of options can extend these standard measurement capabilities.us
?德州大学奥斯汀中国学生学者联谊会 -- The University of Texas at Austin Chinese Students and Scholars Association Web Forum　　"
Typical  applica ......

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