No.102855
作者：limist
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标题：limist:专业代理美国COMDEL射频电源
摘要：No.102855专业代理美国COMDEL射频电源 CX系列高频电源 其稳定性在全球等离子真空系统方面已被证实 性能表现 CX系列电源可以获得5000到10000W的功率范围，确定的频率范围为2到30MHZ，频率捷变性能达到10％频宽。固态器件的设计降低了追求高稳定性的使用者的成本。 应用领域 CX系列电源为了满足在半导体工艺反面的高频驱动等离子系统的性能要求而设计的。应用领域包括：刻蚀、RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD和PVD，同时也应用在感应和介质加热的工业领域。 CX大功率电源 CX系列电源提供5000到10000W大功率电源 性能 （1）S－专利技术确保了超稳定的输出，此稳定技术使功率放大性能得以优化并降低了由等离子阻抗波动造成的功率增益变化 （2） 获得ETL产品安全标志，并符合SEM ......
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