据EE Times网站消息,德国圆片供应商Sicrystal公司日前表示,该公司已开始出货直径3英寸的碳化硅晶圆,这些晶圆将用于生产功率器件,射频以及光电子器件等。
Sicrystal声称,该公司此次出货的圆片质量已经有了大幅提高,在片上应力、缺陷数目以及导电的各向同性方面都有所改善,但该公司并未给出具体数值,也没有说明测量方法。而对于圆片的电阻率,该公司表示,远高于105欧姆厘米。
“这些产品将帮助我们的客户实现不同的战略目标,并推动下一代宽禁带半导体器件的早日实现商业化。”Sicrystal在一份声明中说。
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