内容导读：

BOC Edwards宣布将为上海周边的新半导体制造厂提供大批量气体和特殊气体输运系统，以及化学试剂和研磨浆管理系统整体方案。服务包括设计、工程、安装和启动等。与客户签署协议后，所有项目将都由BOC Edwards安排调度。
　　目前有超过30种化学试剂和研磨浆系统可以提供给中国客户，包括大批量化学试剂输送、试剂混合，iSISTM2000研磨浆混合和分配系统以及 ChemControlTM可调控制系统等。BOC Edwards在中国已拥有10个主要半导体制造客户，主要集中于上海和北京 。 

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来源:半导体国际 作者: 时间:2004/1/2 0:00:00