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紫外线激光内存修正设备9835能够用于200毫米和300毫米硅片。设备用于提升90纳米工艺以及更先进生产技术制造的动态随机存取存储器、静态随机存取存储器、嵌入式内存和其它应用激光熔断技术的产品的合格率，并且能够兼容下一代半导体器件。0.35微米的激光波长光斑使设备可以满足90纳米以下的设计规则的需求。
ESI Inc. www.esi.com

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来源:半导体国际 作者: 时间:2006/5/11 0:00:00