据Semiconductor Reporter网站报道， CyberOptics半导体公司日前宣布已开发出掩模版形状的无线自动水平检测系统，将用于掩模版夹持设备的自动检测。

该检测系统将帮助使用者防止对准偏差、刮擦、以及颗粒产生。有助于提高良率和掩模版使用寿命。

这套编号为WaferSense ALSR的系统是在原先WaferSense ALS的基础上开发出来。使用传感器检测掩模版的倾斜状况，并通过无线信号与机器沟通进行调整，保证了生产的正常进行。该设备可以保证+/-0.3度以内的倾斜角度。

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http://www.semireporter.com/public/13144.cfm