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VIISta 900XP是一款为满足使用亚兆电子伏能量实现N或P型反阱工艺的需求而设计的离子注入设备。 设备提高了注入能量的使用上限，并优化了结构能够实现精确的真正零角度的离子注入。VIISta 900XP的产量达到每小时500片.
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来源:半导体国际 作者: 时间:2006/4/5 0:00:00