据SemiconTimes网站报道，半导体高级加工设备供应商Mattson Technology公司上周表示，收到来自韩国存储器制造商的多套设备系统订单。已经发货并会在今天第三季度安装。

所订购设备主要安装在中国新建的300mm fab厂中，多套系统包括Aspen III ICPHT光刻胶干法去除设备、Aspen III　LiteEtch以及Helios RTP系统，用于生产基于90nm节点的DRAM和SDRAM以及闪存器件的前段及后段制程过程。

我们非常高兴能够得到客户对Mattson产品的一贯信任，这将继续加强我们在存储器制造领域的领先地位并不断扩大我们的市场分额。Mattson公司全球业务运营副总裁兼总经理Stephen T.Lanza表示。

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