F300 Autopod 300mm晶圆专用前端开启式统一规格Pod（front-opening unified pod，FOUP）为晶圆在加工过程中提供了很好的保护作用。它由阻燃材料PEI构成，具有额外的防火功能;清除功能使晶圆免受氧气、水蒸气和气体污染物的损害作用;通向FOUP开启处的ESD通道可以分散聚集在晶圆固定装置上的静电，消除静电从传送装置传递到晶圆时造成的破坏作用。
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来源:半导体国际 作者: 时间:2003/9/10 0:00:00
