内容导读：

　　C-DIC圆偏振光微分干涉对比技术为半导体和MEMS工业提供了更加有效的缺陷检测方法。C-DIC的棱镜被安插在显微镜的补偿器支架上，位于圆偏光器之间，不需考虑主轴的方向问题。
　　Carl Zeiss   www.zeiss.com

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来源:半导体国际 作者: 时间:2003/9/10 0:00:00