据The Semiconductor Reporter网站报道，MKS Instruments近日宣布已经收购Novx公司。Novx公司专门为半导体制造、数据存储、通讯、医疗器械等市场提供静电荷监测服务。交易的具体细节并未对外宣布。

MKS公司总裁Leo Berlinghieri表示，MKS专注于提高半导体制造及其磁盘驱动器业务中的工艺性能及生产效率。而Novx公司的技术扩大了我们在先进工艺环境中监控探测静电荷的能力。

他另外表示，由于静电吸引而引起的微粒污染在晶圆制造及其他工艺过程中将会引起严重的破坏，因此需要对静电荷进行实时监控来提高良率。 为了解决这个问题，我们将把Novx公司的传感技术和数据处理软件与Ion Systems的离子化技术结合起来，来处理工艺过程中的静电荷。

MKS Instruments公司是在美国证券上市的公司，公司在半导体测试及监控产品中，占领先地位。

相关链接（英文）：http://www.semireporter.com/public/14771.cfm