内容导读：

ECAE（equal channel angular extrusion）是一项先进的金属溅镀技术，包括铝、铝合金、铜和铜合金，具有金属颗粒小，微观结构均匀，机械强度高，质地可控的优点。ECAE不仅提供很好的金属特性，而且具有低弧光放电，使用寿命长，溅镀能量高等出众性能，适用于通孔的填充和沉积金属薄膜。由于金属颗粒非常细小，因此能成功过渡到0.18um以下工艺，用于通孔的填充。
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来源:半导体国际 作者: 时间:2003/7/1 0:00:00