内容导读：

　　NOVATEX准分子激光器适用于曝光方面的应用，如光掩膜版的制作、检查和量测。重复率为1KHz时，激光器能稳定发射输出能量为16mJ的248nm激光（KrF型号）和6mJ的193nm激光（ArF型号）。它包括一个激光头（激光头安装在一个适于洁净室环境下使用的不锈钢盒子里）和一套安装在工业PC板单独的电源系统。激光器由严格的标准组件构成，可单侧打开进行激光头维修，因此很容易与大多数工作站进行组合使用。　　Lambda Physik USA Inc. www.lambdaphysik.com

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来源:半导体国际 作者: 时间:2003/7/1 0:00:00