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近日，半导体设备市场的领先供应商及单晶片湿处理技术领域的首要创新者SEZ 集团公司宣布，一家世界领先存储器制造商已向S其订购多套Da Vinci? 系列清洗设备。这些DV-38F设备将用于以亚90nm工艺技术、在300mm晶片上制造存储器器件的后段制程（BEOL）中清除聚合物。

包括韩国的制造商在内，半导体行业主要制造商从批处理湿式制程转向单晶片湿式制程的步伐在继续加快，取代湿式批处理酸槽设备的步伐配合实现了更为复杂的小尺寸集成电路制造所要求的日益严苛的表面污染控制。当逻辑芯片生产引领该潮流时，存储器制造商和其他晶片厂也在努力采用单晶片湿处理技术以为其高端制造业务实现成本及性能优势。

这份订单代表了SEZ的重大的竞争胜利。SEZ凭借其Da Vinci系列设备产品击败了批处理设备，赢得了世界领先半导体存储器制造商的认可。Da Vinci系列产品在高端大规模生产应用方面具有重大优势，尤其是在提高生产力、降低成本及改善良率等方面。

SEZ亚太区首席运营官Herwig Petschnig指出，“SEZ的 Da Vinci系列设备有助于优化亚90nm工艺及300mm大规模集成电路生产的效率。这种设备不仅具有独特的、能提高整体生产力的腔体设计，还允许在大规模生产的环境下采用多种化学试剂，从而降低了整体清洗成本。特别地，这种工具能采用诸如稀释过氧化硫+（DSP+）等多种新式化学试剂（DSP+在存储器生产中的功效日益显著）。”
                                                   
SEZ 集团公司首席运营官Kurt Lackenbucher强调，“我们对在韩国取得的重大胜利尤感欣慰，因为又有一家极具影响力的行业领先企业接受我们的单晶片技术。我们的Da Vinci系列设备有助于客户缩短产品上市时间和最大限度地降低耗材成本。韩国是SEZ的战略地区，我们将继续与韩国的客户紧密合作，为其提供单晶片湿处理技术的全面支持。”

在当前行业趋势（降低成本、改善良率、提高生产力）的驱动下，市场对Da Vinci系列平台的需求超过了最初的预期。自2004年第2季售出第一套Da Vinci设备以来，SEZ的Da Vinci设备现已遍布全球。SEZ预期该系列产品将占据其2005年总销售额的50%以上。

关于SEZ集团公司

SEZ集团公司是全球半导体行业的单晶片湿式清洗处理解决方案的领先供应商，已在全球售出并安装了850多台工具系统。该公司在亚太、欧洲、日本以及北美均有业务。关于该公司的更详细详情，请浏览该公司的网站：www.sez.com。

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来源:中电网 作者: 时间:2005/3/14 0:00:00