内容导读：

IEEE和SEMI签署了一项关于共同制定纳米技术和微电子机械系统标准的协议

SEMI和IEEE签署了一项关于合作项目的谅解备忘录，该项目旨在创建纳米技术和微电子机械系统(MEMS)标准。此协议的签订标志着协议双方的首度标准协调合作。

根据该理解备忘录，SEMI和IEEE将确定有关联络事宜，说明定期的信息交流计划并安排定期召开联合会议。备忘录中还提供各自委员会会议的最新资料并发布关于纳米技术和微电子机械系统标准信息。

IEEE标准协会正在积极推进其纳米技术标准，并预计在2005年出台碳纳米管的测量标准。同样，SEM工的MEMS动议也显示了对这一标准的关注。

本文摘自《半导体技术》

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来源:中电网 作者: 时间:2004/9/10 0:00:00