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京运通真空设备厂研制的8英寸硅单晶炉成功地生长出太阳能级硅单晶

2004年4月18日，我国最大的单晶硅炉制造厂商之一北京京运通真空设备厂最新研制的八英寸硅单晶炉JRDL800成功地生长出直径207毫米，等径长度501毫米，总长为721毫米的太阳能级硅单晶。经初步检测，晶体的各项技术指标符合要求。据悉，该八英寸硅单晶炉JRDL800打破了我国8英寸级硅单晶炉依赖进口的限制，为我国硅单晶制造业的蓬勃发展奠定了基础。截止记者发稿时，北京京运通真空设备厂已经有了JRDL800的第一批用户20台八英寸硅单晶炉的订单，预计在三个月内交货。

本文摘自《半导体技术》

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来源:中电网 作者: 时间:2004/8/16 0:00:00