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半导体设备产业将很快批准并公布新的数据采集接口标准，面向生产工具的电子诊断(e-diag-nostics)。但目前还不明朗的是，该技术能否获得市场广泛的接受。

迄今为止，三大芯片制造商AMD、IBM和英飞凌据称已认可了这项新的名为SEMI接口A(SEMIPR8／3563)的标准提案。该设备数据采集(RDA)标准在加工工具内提供更多安全性和数据，因此推动了半导体加工厂更广泛采用电子诊断技术。

目前，电子诊断市场由于缺乏标准和安全性而停滞不前。新标准据称支持以前的SECS／GEM接口标准和符合该标准的几大对象的存取技术。

电子诊断意味着远距离解决半导体制造设备故障的能力，使设备供应商总部的服务和设计工程师能快速修复全球范围内的生产线问题。理想情况是，当故障出现时，生产厂员工能向供应商发送电子邮件或信息，并能在几小时内，也有可能在几分钟内得到几种可能的解决修复方案。

新接口A技术有望解决标准问题，因此能推动电子诊断技术广为普及，ILS Technology LLC公司总裁JosephCestari表示。新接口A标准预计将于7月在Semi-con West展会上获得批准并公布。

本文摘自《电子工业专用设备》

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来源:中电网 作者: 时间:2004/7/7 0:00:00