内容导读：

吉时利仪器公司同Novellus系统公司,宣布他们将在位于San Jose的Novellus客户集成中心开始合作。合作的主要目标是：基于吉时利先进的S600 半导体直流参数测试平台来开发适于铜及低K材料的电气工艺诊断测试。这种测试将会大大节省铜工艺开发的时间并有利于提高Novellus及吉时利客户的生产率。


本文摘自《半导体技术》

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来源:中电网 作者: 时间:2003/7/8 0:00:00