MKS Instruments为半导体和生物制药应用推小巧、低电流的压力测量解决方案631B。631B采用超小型设计，其安装外壳减小了40%，很容易设计到新型小巧处理工具中。正常工作时电流小于1A(比现有压力计小50%)，631B完整的电路只要求±15Vdc输入电压，可降低板上电源费用。此外，由于取消了互联电缆产生的噪声，性能获得改善。这种全铬镍铁合金电容传感器有超级抗腐蚀能力，高额定过压(45 psia)能力保证极好的可重复性和系统稳定性，且与处理过程无关。 631B可用于半导体制造过程中要求最苛刻的真空处理过程，例如金属蚀刻和氮化物化学气态沉积。它还适用于生物制药学处理设备，例如冷冻干燥机和用蒸汽抑制细菌生长的杀菌器。 631B可用于半导体制造过程中要求最苛刻的真空处理过程，例如金属蚀刻和氮化物化学气态沉积。它还适用于生物制药学处理设备，例如冷冻干燥机和用蒸汽抑制细菌生长的杀菌器。 | |
