内容导读：

诺发系统有限公司推出了SOLA™—业界首套针对先进介电薄膜的淀积后处理的紫外热处理（UVTP）系统。它是实现晶体管水平高应力氮化硅薄膜和互连层致密性或多孔性低–k介电材料等许多先进薄膜应用的关键设备，结合了紫外光与热处理相，使薄膜材料的淀积后处理可在450°C或更低较低温度下进行。
SOLA独特的紫外灯组合包括直线型双灯管和光学反射系统，可为300mm晶圆提供均匀的紫外光辐射，把导致晶片受热和处理结果不均匀等后果的红外（IR）线控制在最小程度。SOLA还具有多平台顺序处理专利技术，可以提供高处理能力和良好的处理均匀程度（小于2%）。

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来源:电子产品世界 作者: 时间:2006/1/29 19:37:00