透光式密闭型封装技术的相关专利已于2005年3月29日在美国获得正式批准。可用于摄影机等设备使用的微型显示器元件中。此专利是索尼在“爱·地球博”上展出的2005英寸显示器用核心元件“GLV(Grating Light Valve,光栅阀)”开发商美国Silicon Light Machines公司2002年6月申请的。
此专利主要用于提高采用MEMS技术实现的微型显示器元件的可靠性,以及降低生产成本。微型显示器包含反光镜和衍射光栅等活动部分,吸附灰尘和水以后有可能因无法活动,而使可靠性降低。因此必须设计透光窗口,并且利用密闭型封装方式封装元件。但假如固定活动部分的底板和封装上的透光窗口平行设计,那么由微型显示器控制的部分光线在窗口内部反射后就会产生干涉,从而造成画质下降。
而此次获批的专利则能够进行倾斜封装,以免封装的窗口部分平行于底板。使用双层密封结构,利用熔解的焊锡表面张力使之倾斜。能够利用回流焊接和金属成膜等普通生产工序进行生产。封装成本的削减已经成为MEMS元件的一大课题。此专利名为《Method of sealing a hermetic lid to a semiconductor die at an angle》(USP6,872,984)。
Silicon Light Machines公司是美国赛普拉斯半导体公司(Cypress Semiconductor)的子公司,现已将GLV技术授权给索尼。索尼自身也积极地申请了GLV专利,且已获批。