6300型光学表面分析系统可以提供行业内最宽的空间带宽覆盖，本底噪声低于0.05nm，该公司表示，6300型的多通道光学路结合了激光稳定控制技术，以提高其测试能力。

       6300的先进光学扫描技术可以在径向和圆周方向提供全片形貌检测，可以让生产商实现通过一台设备实现全部空间谱的测量，KLA-Tencor表示，6300提供全片、非接触的低成本检测的同时，还具有比探针工具和原子力显微镜(AFM)技术更快的检测速率。该设备将于10月份开始交货。