用于洁净室的Quickdraw传送系统采用了Quickdraw特有的Zone Buffering和Interllizone技术。集成的传感器可以为用户在特定的传送区域提供高质量的传送控制。高灵活性的设计具有多种速度选择、双向行进、可变更的分布,以及满足低误差容限要求的精确制动功能。控制系统通过插入并运转操作实现自动限制。传感器、逻辑电路和控制电机都嵌入轨道中。
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来源:半导体国际 作者: 时间:2006/9/9 0:00:00