内容导读：

       Akrion, Inc.近期宣布，两套Goldfinger Velocity 300mm 单圆片清洗系统向亚洲顶级客户交货，该设备可以实现65nm逻辑器件的BEOL-Cu清洗。
 
       系统采用Goldfinger XP兆声系统、Sahara干燥和JetStream-Nano喷雾技术，其中XP兆声和JetStream-Nano被设计用于65-45nm工艺制造器件清洗。Akrion关于兆声和喷雾技术拥有超过60项专利。

       Akrion总裁与CEO James S. Molinaro表示，我们将继续增强关于先进清洗和干燥的单圆片技术，使公司成为清洗行业的领导者，尤其在65-45nm器件领域。

       Akrion是全球半导体单圆片与化学清洗系统供应商，其产品应用于DRAM、闪存、逻辑和MEMS芯片以及光掩膜板。公司总部设于宾夕法尼亚，其位于宾夕法尼亚的工厂通过了ISO 90012000和ISO 140012004认证。

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来源:半导体国际 作者: 时间:2006/8/30 0:00:00