内容导读：

582系列垂直流体硬壁清洗室具有模块化的壁板，固定在一起形成壳，紧密的栅格结构附在壳上，形成内部清洗顶板。紧密地顶板栅格结构采用互连的T形条，提供了足够的强度支撑过滤器、灯架、面板。HEPA-N-SEAL负压安全密封确保无气漏。
Clean Air Products, Minneapolis,
www.cleanairproducts.com.

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来源:半导体国际 作者: 时间:2006/8/17 0:00:00