内容导读：

水蒸汽泵MicroStar ISO-100提高了真空抽吸速度，它适用于离子注入设备、其它高真空设备及相关设备。设备自带的低温冷泵摆脱了其对氦压缩机或气体管路的依赖。它安装的无声引擎能够提高热效率，从而仅使用100瓦的输入功率实现高效制冷。设备的制冷线圈温度始终保持在110-140 K，因此在<10-10 Torr的分压下水分子才能被捕获。
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来源:半导体国际 作者: 时间:2006/8/8 0:00:00