内容导读：

AirSentry-IMS系统是193纳米污染控制解决方案。设备可以对环境中的氨浓度、酸性气体浓度、颗粒以及光化学有机污染（POC）进行实时监控，其测试精度达到ppb级。通过检测光学霾的构成，工程师能够提前防范污染的产生进而避免损失。设备使用光声光谱学测试技术监控POC和Si-O污染，并能够单独测定甲烷、非甲烷碳氢化合物和硅酮化合物的浓度。
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来源:半导体国际 作者: 时间:2006/8/8 0:00:00