领先的半导体制造先进工艺设备供应商Mattson Technology,Inc.,日前宣布其新近推介的Suprema剥离系统从东芝集团赢得大定单。东芝计划使用Suprema剥离系统进行大容量多剂量植入剥离应用,制造先进的90nm工艺节点以下NAAD闪存器件。该系统已经发货,扩充了东芝内部Mattson设备的安装基础,使其成为可以发扬光大的一个商业契机。
“NAND闪存市场在迅速增长,正因为此东芝才扩充产能,”Mattson Technology全球商业执行副总裁兼总经理Stephen T. Lanza说道,“Mattson的Suprema系统提供了晶圆级的成果、出众的生产力和拥有成本(COO),客户需要这些来维持他的领先地位,响应高密度NAND闪存市场的需求。”
“我们很荣幸被东芝选中为供应商,这也验证了Suprema的技术优势和优秀的拥有成本(COO),并稳固了Mattson在NAND闪存市场的领导地位,”Mattson Technology Japan K.K的总裁Mike Y. Morita说,“最新的定单扩充了东芝内部Mattson剥离工具安装基础,并示范了快速采用我们新的高容量剥离系统的好处。”