铁电定位系统由线性移动装置和旋转纳米定位装置组成。一个升降机和两个直线运动部件可以实现线性定位，其移动范围从4.8到7.5 mm。旋转台可以实现任意转角定位。通过两个测角器调整选择角度，可调整的角度范围为0.11 rad (6.3°)。这些移动部件都由铁电器件驱动，并通过使用低磨损元件实现高精度，以及精度的可重复性好。旋转定位的最小步长约40 µrad。

piezosystem jena GmbH  www.piezojena.com.