据Semiconductor Reporter网站报道,Brion公司日前宣布其Tachyon LMC光学修正(optical proximity correction,OPC)工具被Crolles2联盟采用,将用于量产65纳米工艺。
同时Brion还与Crolles2签下协议,开发用于45纳米器件的OPC工具。
Crolles2成员包括意法半导体,飞利浦半导体,以及飞思卡尔半导体等。这些公司已将Brion公司工具用于自动化65纳米工艺量产。
Brion与Crolles2的合作始于2005年4月,后者已从前者订购了Tachyon LMC和Tachyon RDI两种工具。
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httpwww.semireporter.compublic13378.cfm